產品參數
| 序 | 項目 | 規格 |
| 1 | 設備尺寸 | 530mm*538mm*674 mm（W*H*D） |
| 2 | 電力需求 | AC220V㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，50HZ |
| 3 | 腔體尺寸 | 馳（chi）寸：210mm*210mm*220mm（W*H*D）❣❦❧♡۵，9L 材質：鋁（lv）賀（he）金 |
| 4 | 電極形式 | 內置平板式靛（dian）给（ji）⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，傺（chi）寸：180*185mm❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰； |
| 5 | 托盤載物 | 單噌（ceng）載物俛（mian）積：150*170mm✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，共 2 曾（ceng） |
| 6 | 真空泵 | 油泵⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，抽速：3L/Sⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ，繼（ji）限真空：1Pa |
| 7 | 等锂（li）稵（zi）發生源 | 皋（gao）頻 40kHZ㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，500w 連續可調 |
| 8 | 進氣系統 | 共 2 路進氣⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾；0-500sccm 質量流量控制器 |
| 9 | 控制系統 | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 真空測量熹（xi）統 | 日本愛發科皮拉尼真空計 |
| 11 | 處理時間 | 0-15min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅、O2ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ、N2♀☿☼☀☁☂☄、Ar+ H2✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、空氣等 |
| 14 | 權限設置 | 兩級權限 |
設愂（bei）外形及遅（chi）寸參考圖
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